1、直角硬齒面行星減速機齒輪表面滲氮或氮碳共滲。此種工藝減速機齒輪硬化層深度較淺（一般為0.5mm），其硬度為550HV（52HRC）。其承載能力受到限制，而且氮化硬化層局部過載能力較小，氮化工藝成本很高，故較少采用。氮化減速機齒輪因不能淬火，故變形很小，一般用在不能采用磨齒工藝的內減速機齒輪和花鍵齒圈上。

     2、采用中頻或高頻感應淬火和火焰淬火的硬齒面的減速機齒輪因硬化層與非硬化層芯部有明顯的界面，硬度梯度大，同時表面硬度低（55HRC左右）。齒根淬硬困難性能和承載能力均不理想。

     3、直角硬齒面行星減速機齒輪表面滲碳后再淬火。此種工藝加工的減速機齒輪表面硬度高（58HRC～62HRC），齒面硬化層均勻，從表面往里的硬度只有微不足道的下降（由殘余奧氏體決定）。從硬化層往心部的硬度梯度小，具有最佳的抗硬化層剝落能力。因此，滲碳硬化層承載能力高，得到了廣泛的應用。

     無論是直角硬齒面行星減速機還是二次包絡蝸輪副，先進合理的設計、高精度的制造、組裝、全面的性能檢測保證外，正確的裝配才是保證齒輪箱長壽命、安全可靠工作的重要環節。